激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响

湘寒月

【文章名称】：激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响
【发表期刊】： 真空科学与技术学报,2011年01期
【作者】： 车晓舟； 陈莲华； 马洪涛； 刘凡新；
【摘要】： 用真空阴极过滤电弧法沉积了厚度为2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,研究了激光加热退火时薄膜结构和表面粗糙度的变化,分析了激光加热功率对薄膜结构的影响。结果表明,当激光功率小于200 mW时,DLC薄膜的结构基本保持不变;激光功率增大到300 mW,薄膜中少量的sp3键转变为sp2键,但薄膜的表面形貌基本保持不变。随着激光功率增大到400mW,薄膜中sp3键向sp2键的转变量增大;当激光功率达到500 mW时,薄膜中大量的sp3键转变为sp2键,sp2六原子环含量迅速增大,薄膜表面粗糙度开始明显增大,出现凹凸不平的表面形貌。 更多还原
【关键词】：真空阴极过滤电弧； 类金刚石薄膜； 退火； 激光功率； 结构；