真空度的问题，请教高人！

wegyl

有个客户要做真空炉，极限真空度要求 达到 0.1 Pa    压升率不超过每小时0.5Pa  请问这是什么概念？？
谢谢！！！

xiulirong

极限真空度：真空炉（空炉冷态）所能达到的最高真空度。
压升率：当炉内达到极限真空度后，关闭真空系统各通气口的真空阀门，并关停真空泵。
                   △P=P2-P1/△t
         △P——压升率，Pa/min
          P1——第一次读数时真空室内的压力，Pa
          P2——第二次读数时真空室内的压力，Pa
         △t——两次读数间的时间，min,一般不小于30min，每一次读数一般应在关闭真空阀门15min后进行，两次读数尽可能用同一只真空计同一根标尺。
            

wegyl

这样的真空度 和压升率在国内算高吗？

xiulirong

wegyl 发表于 2011-8-24 09:48
这样的真空度 和压升率在国内算高吗？

极限真空度一般二级泵是达不到的，一般1pa，
压升率还行，小于0.67Pa/h

wegyl

要求真空度不是 1Pa  是0.1Pa   这样的真空压力表我都买不到！！！