请教大家：扩散泵主阀漏气的原理

Shiryu

扩散泵主阀漏气会导致抽不上真空，但是感觉扩散泵整体和炉膛是一个相对的密闭空间，即使漏气也都是在内部，怎么影响到真空的抽力呢？有明白的大哥能帮我描述一下它漏气的原理吗？感激不尽。

另外还有一个问题，经常发现罗茨泵上级管道内部有油迹，是不是从扩散泵抽过来的油？扩散泵冷却水温在20-30℃左右，应该不至于是造成反油的主因吧...

SFZK

可能你的前级泵上电磁阀有问题了，前级泵里面真空泵油翻到罗茨泵上方的管道上去了。